…
comment: The repository administrator has not yet configured an RDF license.
primary topic: КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
type: AcademicArticle
type: Article
abstract: В современном развитии микро- и наноэлектроники особое внимание уделяется модификации кремния – основного материала для производства полупроводниковых приборов. В последние десятилетия интерес исследователей значительно сместился от традиционного легирования бором и фосфором к более сложным схемам, предполагающим одновременное внедрение нескольких примесных элементов.
date: 2025-10-06
status: published
author list: authors
type: EPrint
type: ArticleEPrint
is part of: repository
has document: КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА (PDF)

КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА (PDF)
type: Document
has file: main.bin
has part: main.bin
has file: 26255.pdf
has part: 26255.pdf

"XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR" nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi
type: Organization

XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi
type: Collection

Эшқораев Aбдуқодир Искандарович
type: Person
given name: Эшқораев Aбдуқодир
family name: Искандарович

HTML Summary of #70433 КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
format: text/html
primary topic: КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА