The repository administrator has not yet configured an RDF license.
КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
В современном развитии микро- и наноэлектроники особое внимание уделяется модификации кремния – основного материала для производства полупроводниковых приборов. В последние десятилетия интерес исследователей значительно сместился от традиционного легирования бором и фосфором к более сложным схемам, предполагающим одновременное внедрение нескольких примесных элементов.
"XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR" nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi
XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi
КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА (PDF)
HTML Summary of #70433 КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА