@prefix bibo: <http://purl.org/ontology/bibo/> .
  @prefix owl: <http://www.w3.org/2002/07/owl#> .
  @prefix rdf: <http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#> .
  @prefix cc: <http://creativecommons.org/ns#> .
  @prefix xsd: <http://www.w3.org/2001/XMLSchema#> .
  @prefix ep: <http://eprints.org/ontology/> .
  @prefix dct: <http://purl.org/dc/terms/> .
  @prefix void: <http://rdfs.org/ns/void#> .
  @prefix foaf: <http://xmlns.com/foaf/0.1/> .
  @prefix skos: <http://www.w3.org/2004/02/skos/core#> .
  @prefix geo: <http://www.w3.org/2003/01/geo/wgs84_pos#> .
  @prefix eprel: <http://eprints.org/relation/> .
  @prefix rdfs: <http://www.w3.org/2000/01/rdf-schema#> .
  @prefix doi: <https://doi.org/> .
  @prefix event: <http://purl.org/NET/c4dm/event.owl#> .
  @prefix dc: <http://purl.org/dc/elements/1.1/> .
  @prefix epid: <https://arxiv.universalpublishings.com/id/> .

<>
	foaf:primaryTopic <https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433>;
	rdfs:comment "The repository administrator has not yet configured an RDF license."^^xsd:string .

<https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433#authors>
	rdf:_1 <https://arxiv.universalpublishings.com/id/person/ext-24c0fee12b79fd7cdffe1d937a6329d4> .

<https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433/>
	dc:format "text/html";
	dc:title "HTML Summary of #70433 \n\nКОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА\n\n";
	foaf:primaryTopic <https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433> .

<https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433>
	bibo:abstract "В современном развитии микро- и наноэлектроники особое внимание уделяется модификации кремния – основного материала для производства полупроводниковых приборов. В последние десятилетия интерес исследователей значительно сместился от традиционного легирования бором и фосфором к более сложным схемам, предполагающим одновременное внедрение нескольких примесных элементов."^^xsd:string;
	bibo:authorList <https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433#authors>;
	bibo:status <http://purl.org/ontology/bibo/status/published>;
	dct:creator <https://arxiv.universalpublishings.com/id/person/ext-24c0fee12b79fd7cdffe1d937a6329d4>;
	dct:date "2025-10-06";
	dct:isPartOf <https://arxiv.universalpublishings.com/id/repository>,
		<https://arxiv.universalpublishings.com/id/publication/ext-238650826a2bedb0a5b1d4e1d1e617a9>;
	dct:publisher <https://arxiv.universalpublishings.com/id/org/ext-afa3b51ccfd8891e6f160b45061a5c4d>;
	dct:title "КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА"^^xsd:string;
	rdf:type bibo:AcademicArticle,
		bibo:Article,
		ep:ArticleEPrint,
		ep:EPrint;
	rdfs:seeAlso <https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433/> .

<https://arxiv.universalpublishings.com/id/org/ext-afa3b51ccfd8891e6f160b45061a5c4d>
	foaf:name "\"XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR\" nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi"^^xsd:string;
	rdf:type foaf:Organization .

<https://arxiv.universalpublishings.com/id/person/ext-24c0fee12b79fd7cdffe1d937a6329d4>
	foaf:familyName "Искандарович"^^xsd:string;
	foaf:givenName "Эшқораев Aбдуқодир"^^xsd:string;
	foaf:name "Эшқораев Aбдуқодир Искандарович"^^xsd:string;
	rdf:type foaf:Person .

<https://arxiv.universalpublishings.com/id/publication/ext-238650826a2bedb0a5b1d4e1d1e617a9>
	foaf:name "XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi"^^xsd:string;
	rdf:type bibo:Collection .