relation: https://arxiv.universalpublishings.com/id/eprint/70433/
title: КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
creator: Искандарович, Эшқораев Aбдуқодир
description: В современном развитии микро- и наноэлектроники особое внимание уделяется модификации кремния – основного материала для производства полупроводниковых приборов. В последние десятилетия интерес исследователей значительно сместился от традиционного легирования бором и фосфором к более сложным схемам, предполагающим одновременное внедрение нескольких примесных элементов.
publisher: "XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR" nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi
date: 2025-10-06
type: Maqola
type: NonPeerReviewed
identifier:   Искандарович, Эшқораев Aбдуқодир  (2025) КОМПЛЕКСНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ МАРГАНЦЕМ И ЭЛЕМЕНТАМИ VI ГРУППЫ: ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА.  XXI ASRDA INNOVATSION TEXNOLOGIYALAR, FAN VA TAʼLIM TARAQQIYOTIDAGI DOLZARB MUAMMOLAR nomli respublika ilmiy-amaliy konferensiyasi.       
relation: https://universalpublishings.com/index.php/itfttdm/article/view/13795
relation: oai:ojs.pkp.sfu.ca:article/13795
identifier: oai:ojs.pkp.sfu.ca:article/13795